HW-CS108-F/112-F

設備規格：8inch/12inch

產品特點：
1.外觀簡潔大方,整機采用PLC控制，易于操作，性能穩定；
2.功能：通過噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過更換臺盤能適應標準6”，8”，12”框架（Frame）；
4.噴頭噴灑范圍可自動根據設定的晶圓大小調節，無需人工干預；
5.可以根據客戶工藝不同，來編制不同程序控制。
6.具有“緊急停止”功能；
7.具有系統運行狀態監控和設備故障報警功能；